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白光干涉仪拼出“天衣无缝”的3D全景

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发表于 2019-11-13 17:43:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

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  “见一叶而知深秋,窥一斑而见全豹” 这句话用来形容中图仪器SuperView W1白光干涉仪,在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。
  大多数的场景中,只需检测一个数十、数百微米的区域,即可取得“见微知著”的效果,但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中,借助中图仪器SuperView W1白光干涉仪的自动拼接功能,就能够快速实现大区域、高精度的测量。
场景一:超光滑的弧形表面
  上图是一款旋转抛物面零件,用于微小位移和角度检测,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,针对其凹面弧形的检测需求,现有的显微测量仪器中,原子力显微镜和共聚焦显微镜,均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除,只有以白光干涉为原理的白光干涉仪,能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。
  针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,完美重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。
场景二:粗糙的特征表面
  上图是涂覆在电极棒的催化剂表面全景图,整体尺寸在7mm左右,中心的催化剂区域呈低反射率特点,而圆环外呈高反射率特点,整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。
  根据客户精度要求,可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法,并可依据表面粗糙程度,选择不同步距进行速度调节。
场景三:粗糙的有孔洞特征平面
  上图为手机插卡槽处的金属薄片模块,需要测量不含凹面区域的表面轮廓和平整度,因其表面较为粗糙且指定了测量区域,可使用高速FVSI算法,并在拼接测量设定时,使用地图导航功能,在扫描时即可自动跳过凹面区域完成其余整体形貌的拼接测量。
  自动拼接功能的使用,并不局限在上述三种案例当中,光滑或是粗糙、平面或是异形结构,当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时,都可以采用自动拼接,而中图仪器SuperView W1白光干涉仪,可根据不同表面特点进行重建算法的切换,无论何种形貌,都可生成“天衣无缝”的3D全景。

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