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台阶仪(探针式轮廓仪)测膜厚

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发表于 2023-7-5 17:57:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器,它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。
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太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源,在近些年迎来快速发展,而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中,多会镀一层透明的ITO导电薄膜,其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响,因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。
由于ITO膜具有一定的透光性,而硅基板具有较强的反射率,会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真,因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量,由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米,考虑到测量的同时不损伤样件本身,因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。

CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
图片3.jpg 图片4.jpg 图片5.jpg
针对测量ITO导电薄膜的应用场景,CP200台阶仪提供如下便捷功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;


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